Đối với các vật liệu rắn và giòn, gia công bằng siêu âm phụ thuộc vào nhiều yếu tố, các yêu tố này có thể chìa làm hai nhóm như sau:
– Những yếu tố phụ thuộc vào thiết bị và độ chính xác điều chỉnh máy :
+ Độ chính xác của thiết bị phụ thuộc chủ yếu vào sai số trong chuyển động theo hướng tiến của dụng cụ và sự điều chỉnh đầu dao động so với bàn máy.
+ Sự ăn khớp và độ đồng trục của các bộ phận của đầu từ giảo tạo dao động, bộ phận nối, dụng cụ.
+ Độ chính xác của các cơ cấu dùng để điều chỉnh chi
tiết.
+ Độ chính xác vị trí tương đối giữa dụng cụ và chi tiết gia công. Trước khi gia công, phải kiểm tra độ chính xác của máy và tất cả dụng cụ phụ trợ nêu trên nhằm giảm đến mức tối thiểu các sai số.
– Các yếu tố phụ thuộc vào đặc tính công nghệ :
+ Kích cỡ hạt mài.
+ Sự ổn định của khe hở giữa dụng cụ và vật gia công.
+ Độ mòn của dụng cụ.
+ Hình dáng hình học của dụng cụ.
+ Độ sâu gia công. Đối với gia công lỗ, do đặc điểm khác nhau mà người ta phân biệt gia công lỗ thông và lỗ không thông. Độ chính xác của phương pháp đạt cấp 2-3, còn độ bóng bề mặt đạt cấp 8-9
– Độ chính xác gia công lỗ thông :
Độ chính xác của lỗ thông có tiết diện không đổi do 3 yếu tố quyết định
+ Độ chính xác chế tạo dụng cụ.

+ Độ chính xác chép hình của dụng cụ.
+ Dao động có hại thẳng góc với trục dọc của dụng cụ.
Đối với lỗ côn hoặc lỗ có bậc thì ngoài 3 yếu tố trên, độ mòn của dụng cụ có tác động rất lớn đến độ chính xác. Tuy theo độ chính xác của lỗ mà chọn cấp chính xác chế tạo của dụng cụ nhất thiết phải chú ý rằng lỗ sẽ có kích thước lớn hơn dụng cụ. Ví dụ với hạt cỡ 120 thì kích thước lớn hơn với 0,4-ỉ-0,5 mm; Cỡ hạt 320 thì 0,03^-0,04 mm, so với kích thước của dụng cụ.
– Độ chính xác của lỗ không thông :
+ Ngoài các yếu tố nói trên độ chính xác gia công lỗ có đáy còn phụ thuộc vào độ mòn của dụng cụ.
+ Độ côn cũng như sai lệch hình dáng của dụng cụ đều sao chép sang bề mặt gia công. Do đó dụng cụ phải làm bằng vật liệu chịu mòn.
+ Gia công chính xác lỗ có đáy chỉ thực hiện được bằng một loại phương pháp gần đúng, nhiều lần thay dụng cụ với dụng cụ làm bằng vật liệu chịu mòn.
+ Nếu phải gia công lỗ có đáy trên vật liệu khó gia công (hớp kim cứng, thép tôi) thì đáy lỗ sẽ lồi. Độ lồi tăng với độ sâu gia công. Lý do là ở giữa nồng độ của bột mài loãng hơn ở xung quanh. Độ chính xác của lỗ (đặc biệt ỏ đáy lỗ) không đạt được 0,05 mm.